アルゴンエキシマ光洗浄装置
製品概要
「Ar Excimer」が放つ「126nmの波長を持つ真空紫外線」で有機化合物の分解・洗浄を行います。非接触・無損傷での洗浄が可能な精密洗浄装置です。
特長
- 極表面の有機化合物のみを除去
- 光による非接触の洗浄であることから、対象物に物理的な損傷を与えない
- 不活性ガスである「アルゴンガス」雰囲気で処理するため、化学変化によるダメージも少ない
- 高い清浄度を実現し、接着性／濡れ性を大幅に向上
洗浄の原理
- 洗浄にはアルゴンエキシマの発生に伴う126nmの真空紫外線を利用します。
- 真空紫外線が資料表面に付着した有機化合物を分解します。分解された有機化合物は、主に炭酸ガス、酸素、窒素等に分解されます。
- 分解された有機化合物は、チャンバー内から外へと排出されます。
- 一連の工程は不活性ガスであるアルゴンガス雰囲気下で行われるため、対象物に対して化学変化によるダメージを与える心配が少なくなっております。
洗浄効果の確認について
- 対象物に付着した有機化合物の種類によって、効果が変化致します。
- 導入前にデモ機による確認も実施可能ですので、お気軽にご相談ください。